Pompa Turbomolekuler Pelumasan Maglev ISO-K/CF Konsumsi Daya Rendah

Pompa Maglev, CXF-200/1400, Pendingin Air, ISO-K/CF, Pengontrol eksternal

Pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah pompa yang porosnya didukung oleh gaya magnet.

Seri pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah peralatan pembangkit vakum yang dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi persyaratan aplikasi untuk bidang manufaktur semikonduktor modern, manufaktur chip, pelapisan industri, dan instrumen ilmiah.

Teknologi:

• Teknologi Kontrol untuk Bantalan Magnetik: sebuah 5-sumbu magnetis levitasi, berdasarkan teori kontrol internasional canggih, untuk menjamin keuntungan yang signifikan dari poros kecepatan tinggi sebagai operasi levitasi stabil dan dapat diandalkan.
• Teknologi Kontrol Penggerak Motor: Efisiensi tinggi motor DC berkecepatan tinggi dan sistem kontrol servo, memiliki energi maksimum motor dan untuk mengkompensasi kecepatan putar poros secara otomatis, sehingga mewujudkan start-up yang stabil, operasi yang andal, dan fungsi pengaturan otomatis energi dinamis.
• Teknologi rotor komposit serat karbon: Dibuat dengan menggabungkan paduan aluminium kekuatan tinggi dan serat karbon ringan.ditandai dengan pengurangan berat yang besar dan peningkatan kekuatan yang besar, sehingga target kecepatan putar tinggi, kinerja tinggi, dan keandalan tinggi tercapai.
• Teknologi tahan korosi: Permukaan bagian-bagian dalam ruang diperlakukan dengan proses khusus, sehingga permukaan dapat menahan korosi yang disebabkan oleh gas korosif dalam proses pembuatan semikonduktor untuk waktu yang lama.Selain itu, gas inert seperti N2 terisi penuh dalam poros pompa untuk melindungi bagian vakum rendah di pompa, sehingga fungsi gas korosif yang menguras secara stabil untuk waktu yang lama terwujud.
• Sistem kontrol suhu pemanas: dilengkapi dengan pemanas listrik dan pengontrol suhu, air pendingin, pemanas tulang udara, pemanas listrik dan panas yang dibawa oleh gas pelindung dapat dipantau dan dikendalikan selama operasi, suhu di pompa dapat dipertahankan pada nilai tertentu untuk jangka panjang, beberapa gas zat tidak diubah menjadi zat padat pada suhu normal dan tidak disimpan di pompa, dan persyaratan untuk proses khusus seperti pengetsaan dapat dipenuhi.

Keuntungannya:

1. Nol gesekan selama operasi, dan konsumsi daya yang rendah

2. Mudah untuk mendapatkan vakum tinggi yang benar-benar bersih dan vakum sangat tinggi tanpa pelumasan untuk pompa

3. Mampu mengekstraksi gas korosif untuk jangka panjang

4. Keamanan tinggi dan masa pakai yang lama karena perlindungan bantalan dengan bola keramik presisi

5. fungsi pembangkit listrik jika tiba-tiba mati

6. Bebas dari gesekan

7. Bebas polusi

8. Bebas perawatan

9. Getaran rendah

10. dipasang dalam orientasi apa pun.

Aplikasi:

Ekstraksi gas korosif yang ada di etsa, CVD, PVD dan implantasi ion dan gas mudah digumpalkan pada suhu normal di bidang manufaktur semikonduktor, manufaktur klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, .

Spesifikasi: