KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Inovasi Instrumen Ilmiah

Berkembang menjadi Perusahaan Kelas Satu

Rumah ProdukPompa Turbomolekul

Pompa Vakum Turbomolekuler yang Diangkat Secara Magnetik Getaran Rendah CXF-320/3000E

Sertifikasi
Cina KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Sertifikasi
Cina KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Sertifikasi
I 'm Online Chat Now

Pompa Vakum Turbomolekuler yang Diangkat Secara Magnetik Getaran Rendah CXF-320/3000E

large.img.alt
small.img.alt

Gambar besar :  Pompa Vakum Turbomolekuler yang Diangkat Secara Magnetik Getaran Rendah CXF-320/3000E

Detail produk:
Tempat asal: Cina
Nama merek: KYKY
Sertifikasi: CE
Nomor model: CXF-320/3000E
Syarat-syarat pembayaran & pengiriman:
Kuantitas min Order: 1
Kemasan rincian: Kotak kayu untuk pengiriman luar negeri
Waktu pengiriman: 4 minggu
Syarat-syarat pembayaran: T/T, L/C
Detil Deskripsi produk
Kecepatan pemompaan: 3000L/s N2 Pengontrol: luar
Penghubung jalur pipa: ISO-F Pendinginan: air
Cahaya Tinggi:

pompa molekul turbo

,

pompa vakum turbo

Pompa Maglev, CXF-320/3000E, Pendingin air, ISO-F, Pengontrol eksternal

Pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah pompa yang porosnya didukung oleh gaya magnet.

Seri pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah peralatan pembangkit vakum yang dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi persyaratan aplikasi untuk bidang manufaktur semikonduktor modern, manufaktur chip, pelapisan industri, dan instrumen ilmiah.

 

Bantalan elektromagnetik juga disebut "beruang levitasi magnetik aktif", yang terdiri dari bantalan magnetik, sensor, dan sistem kontrol.Desain ini memiliki respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu, poros berkecepatan tinggi, dan operasi yang andal.

 

Keuntungannya:

1. Nol gesekan selama operasi, dan konsumsi daya yang rendah

2. Mudah untuk mendapatkan vakum tinggi yang benar-benar bersih dan vakum sangat tinggi tanpa pelumasan untuk pompa

3. Mampu mengekstraksi gas korosif untuk jangka panjang

4. Keamanan tinggi dan masa pakai yang lama karena perlindungan bantalan dengan bola keramik presisi

5. fungsi pembangkit listrik jika tiba-tiba mati

6. Bebas dari gesekan

7. Bebas polusi

8. Bebas perawatan

9. Getaran rendah

10. dipasang dalam orientasi apa pun.

 

Teknologi:

  • Teknologi Kontrol untuk Bantalan Magnetik: 5-sumbu magnet diangkat.Desain ini dapat memiliki respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu melalui teknologi kontrol suspensi magnetik sirkuit tertutup aktif dinamis berdasarkan teori kontrol internasional canggih, sehingga dapat menjamin keuntungan signifikan dari poros berkecepatan tinggi seperti operasi levitasi yang stabil dan andal.
  • Teknologi Kontrol Penggerak Motor: Efisiensi tinggi motor DC kecepatan tinggi dan sistem kontrol servo diterapkan pada pompa seri magnetis, sehingga memiliki energi maksimum motor dan untuk mengkompensasi kecepatan putar poros secara otomatis, sehingga mewujudkan start-up yang stabil, operasi yang andal, dan pengaturan otomatis fungsi energi dinamis
  • Teknologi rotor komposit serat karbon: Rotor turbo dari pompa molekul suspensi magnetik serial dibuat dengan menggabungkan paduan aluminium kekuatan tinggi dan serat karbon ringan.Dibandingkan dengan semua rotor paduan aluminium, rotor turbo ditandai dengan pengurangan berat yang besar dan peningkatan kekuatan yang besar, sehingga target kecepatan putar tinggi, kinerja tinggi, dan keandalan tinggi tercapai.
  • Teknologi tahan korosi: Permukaan bagian dalam kamar pompa molekuler suspensi magnetik seri diperlakukan dengan proses khusus, sehingga permukaan dapat menahan korosi yang disebabkan oleh gas korosif dalam proses pembuatan semikonduktor untuk waktu yang lama.Selain itu, gas inert seperti N2 diisi penuh dalam poros pompa untuk melindungi bagian vakum rendah di pompa, sehingga fungsi gas korosif yang menguras secara stabil untuk waktu yang lama terwujud.
  • Sistem kontrol suhu pemanas: Seri pompa molekuler levitasi magnet dilengkapi dengan pemanas listrik dan pengontrol suhu, sehingga air pendingin, pemanas tulang udara, pemanas listrik dan panas yang dibawa oleh gas pelindung dapat dipantau dan dikendalikan selama operasi, suhu di pompa dapat dipertahankan pada beberapa nilai untuk jangka panjang, beberapa zat gas tidak diubah menjadi zat padat pada suhu normal dan tidak disimpan di pompa, dan persyaratan untuk proses khusus seperti etsa dapat dipenuhi.

Spesifikasi:

Flensa (Dalam) DN250 ISO-F
Flange (Keluar) KF DN50
Kecepatan Pemompaan (L / s) n2:3000
Ar: 2750
dia:2300
H2:1100
Rasio kompresi n2:108
Ar:108
dia: 104
H2:103
Tekanan Ultimate (Pa) CF: 1 × 10-6
ISO-K/F:6×10-6
Maks.Tekanan vakum depan terus menerus (Pa) 40
Maks.Tekanan vakum depan n2:290
Gas Sepanjang (sccm) n2: 5800
Ar: 2200
Dia: 4300
H2:3100
Kecepatan Rotasi (rpm) 21000
Waktu Run-Up (min) 18
Tipe Pendingin, Standar Air
Konsumsi Air Pendingin ( L/menit) 1
Suhu Air Pendingin (℃) 20
Koneksi Daya: Tegangan (V AC) 220
Model Pengontrol CXF-3000
Berat (kg) 70

 

Aplikasi:

Seri pompa molekuler magnetis terutama diterapkan pada bidang manufaktur semikonduktor, pembuatan klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, terutama untuk ekstraksi gas korosif yang ada di etsa, CVD, PVD dan implantasi ion dan gas yang mudah digumpalkan pada suhu normal.

Rincian kontak
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Kontak Person: sales

Tel: +8613810212935

Mengirimkan permintaan Anda secara langsung kepada kami (0 / 3000)